1
Hepner Georges, Lacombat Michel, Marcy Raymond: Micro positioning apparatus. Compagnie Francaise Thomson Houston Hotchkiss Brandt, Frishauf Stephen H, January 15, 1974: US3786332 (20 worldwide citation)

A workpiece is positioned in the order of tenths of microns, or less, with respect to a fixed assembly, with automatic stabilization of coordinates by apparatus having a solid base with two movable carriages, displacable each in a different orthogonal direction, which drive a reference block bearing ...


2
Marcy Raymond, Bouygues Jean, Lacombat Michel: Systems for accurately positioning an object in a plane by means of translatory movements. Thomson-CSF, September 19, 1972: US3692413 (14 worldwide citation)

The invention relates to a system for displacing an object supported on a carriage sliding above a bench, in such manner as to follow accurately a rectilinear trajectory. The lateral and rotational deviations of the object from the ideal trajectory are sensed by means of interferometer optical means ...


3
Lacombat Michel, Dubroeucq Georges: Optical aligning system for two patterns and photorepeater making use of such a system.. Thomson-CSF, September 3, 1980: EP0015173-A1 (10 worldwide citation)

L'invention se rapporte à un système optique d'alignement de deux motifs et un photorépéteur mettant en oeuvre un tel système pour le positionnement de plaquettes semi-conductrices suivant deux axes de coordonnées. Selon l'invention, un premier motif constitué par deux réseaux optiques (41, 42) disp ...


4
Lacombat Michel, Lefevre Herve, Pircher Georges: Compact device for optical coupling and optical-fibre interferometric gyrometer comprising such a device.. Thomson-CSF, November 12, 1980: EP0018873-A1 (9 worldwide citation)

L'invention a pour objet un dispositif compact de couplage optique particulièrement adapté au couplage entre une source et deux extrémités de fibre optique ayant une fonction de séparation du rayonnement issu de la source entre ces deux extrémités. Le dispositif comporte un cube séparateur (1) de pe ...


5
Lacombat Michel, Chartier Marcel, Dubroeucq Georges: Procede dalignement, dans un photorepeteur, dune plaquette semi-conductrice et des motifs a y projeter et photorepeteur mettant en oeuvre un tel procede. Thomson-CSF, November 17, 1978: FR2388371-A1 (9 worldwide citation)

L'invention se rapporte à un procédé d'alignement dans un photorépéteur, d'une plaquette semi-conductrice et des motifs à y projeter successivement et au photorépéteur mettant en oeuvre un tel procédé.


6
Zahorski Dorian, Lacombat Michel, Leluyer Maurice: Auto-focusing optical device and optical apparatus comprising such a device. Micro Controle, March 17, 1989: FR2620537-A1 (6 worldwide citation)

Optical device for automatically focusing onto the plane of an object to be observed. According to the invention, this device comprises: - a first means 5 for forming a parallel light beam 2; - a semi-reflective mirror 7; - a second, optically converging means 10 in the vicinity of the focal point 1 ...


7
Hignette Olivier, Lacombat Michel: Optical measurement device and method.. Microcontrole, December 12, 1990: EP0401351-A1 (6 worldwide citation)

Method for optically measuring submicron dimensions of an object or covering between two objects, and device implementing such method, wherein a light beam (23) is emitted by means of an arc lamp (22) into a system (21) with an optical monofibre (8) having a diameter larger than 500 mu m and a lengt ...


8
Dubroeucq Georges, Lacombat Michel, Zahorski Dorian: Dispositif optique a source denergie radiante pour le transfert de motifs sur un substrat et procede de mise en oeuvre. Thomson-CSF, July 1, 1983: FR2519156-A1 (5 worldwide citation)

LE PROCEDE SELON L'INVENTION COMPREND UNE SOURCE LASER PULSEE 1, PREFERENTIELLEMENT UNE SOURCE LASER DE TYPE EXCIPLEXE OU EXCIMERE EMETTANT DANS L'ULTRA-VIOLET, ET DES MOYENS 2 SELON UN PREMIER MODE, POUR AUTORISER L'EMISSION D'IMPULSIONS MULTIPLES DONT L'ENERGIE CUMULEE EST MESUREE ET COMPAREE A UN ...


9
Marcy Raymond, Lacombat Michel: Optical contacting systems for positioning and metrology systems. Thomson-CSF, June 12, 1973: US3738754 (5 worldwide citation)

The invention relates to optical connecting systems for accurately positioning a surface with respect to another surface.The contacting system according to the invention comprises a Michelson interferometer in one arm of which an optical length modulating device is introduced. The source of radiant ...


10
Lacombat Michel, Dubroeucq Georges Michel: Arc lamp illumination device.. Thomson-CSF, October 29, 1980: EP0018264-A1 (4 worldwide citation)

L'invention a pour objet un illuminateur à lampe à arc (1) notamment pour un dispositif optique de transfert de motifs. comportant un faisceau de fibres optiques mélangées (10). captant dans un plan image de la source ([pi]) une partie du rayonnement émis, la section de sortie (dz) de ce faisceau (1 ...