An aqueous polishing composition has been found, the said aqueous polishing composition comprising (A) at least one type of abrasive particles which are positively charged when dispersed in an aqueous medium free from component (B) and having a pH in the range of from 3 to 9 as evidenced by the electrophoretic mobility; (B) at least one water-soluble polymer selected from the group consisting of linear and branched alkylene oxide homopolymers and copolymers; and (C) at least one anionic phosphate dispersing agent; and a process for polishing substrate materials for electrical, mechanical and optical devices making use of the aqueous polishing composition.

L'invention concerne une composition aqueuse de polissage comprenant (A) au moins un type de particules abrasives qui sont chargées positivement lorsqu'elles sont en dispersion dans un milieu aqueux exempt de composant (B) et présentant un pH compris entre 3 et 9, tel que mis en évidence par la mobilité électrophorétique; (B) au moins un polymère hydrosoluble choisi dans le groupe comprenant des copolymères et des homopolymères d'oxyde d'alkylène linéaires et ramifiés; et (C) au moins un agent dispersant phosphaté anionique. L'invention concerne également un procédé de polissage de matériaux de substrat pour des dispositifs électriques, mécaniques et optiques au moyen de ladite composition aqueuse de polissage.

Title
COMPOSITION AQUEUSE DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE MÉCANO-CHIMIQUE DE SUBSTRATS CONTENANT DES FILMS DIÉLECTRIQUES DOXYDE DE SILICIUM ET DES FILMS DE POLYSILICIUM
AQUEOUS POLISHING COMPOSITION AND PROCESS FOR CHEMICALLY MECHANICALLY POLISHING SUBSTRATES CONTAINING SILICON OXIDE DIELECTRIC AND POLYSILICON FILMS
Application Number
PCT/IB2011/053867
Publication Number
2012/032451
Application Date
September 5, 2011
Publication Date
March 15, 2012
Inventor
PINDER Harvey Wayne
CHIU Wei Lan William
VENKATARAMAN Shyam Sundar
CHU Jea Ju
LI Yuzhuo
Assignee
BASF
PINDER Harvey Wayne
CHIU Wei Lan William
VENKATARAMAN Shyam Sundar
CHU Jea Ju
LI Yuzhuo
BASF SE
IPC
C09K 3/14
C09G 1/18
C09G 1/04
C09G 1/02
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