WO/2005/104258 is referenced by 4 patents.

(EN) There is provided an inspection method for inspecting a piezoelectric/electrostrictive actuator including a piezoelectric/electrostrictive body and at least two electrodes. The inspection method picks up frequency characteristic when the piezoelectric/electrostrictive actuator is vibrated and according to the frequency characteristic, the displacement amount of the piezoelectric/electrostrictive actuator is measured. Thus, the method can inspect the piezoelectric/electrostrictive actuator with a high accuracy without disassembling or destroying the actuator and without performing actual drive as a product.(JA)  圧電/電歪体と2以上の電極とを具備する圧電/電歪アクチュエータの検査方法である。本検査方法は、圧電/電歪アクチュエータを振動させたときの周波数特性をピックアップして、その周波数特性により、圧電/電歪アクチュエータの変位量を計測するところに特徴があり、製品としての実駆動をさせることなく、分解・破壊を伴わずに、高い精度で圧電/電歪アクチュエータを検査し得る方法である。

Title
(Ja) 弾性体の検査方法、検査装置、及び寸法予測プログラム
(En) Elastic body inspection method, inspection device, and dimension prediction program
Application Number
PCT/JP2005/008042
Publication Number
2005/104258
Application Date
April 27, 2005
Publication Date
November 3, 2005
Inventor
Nehagi Takatoshi
Hatta Tetsuya
Komazawa Masato
Yamada Tomohiro
Agent
WATANABE Kazuhira
Assignee
Nehagi Takatoshi
Hatta Tetsuya
Komazawa Masato
Yamada Tomohiro
Ngk Insulators
IPC
H01L 41/22
H01L 41/09
H01L 41/08
H01H 57/00
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