Title
A METHOD FOR FORMING A MULTI-LEVEL SURFACE ON A SUBSTRATE WITH AREAS OF DIFFERENT WETTABILITY AND A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING THE SAME
VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER MEHREBENENOBERFLÄCHE AUF EINEM SUBSTRAT MIT BEREICHEN VERSCHIEDENER BENETZBARKEIT UND HALBLEITERBAUELEMENT DAMIT
PROCÉDÉ DE FORMATION DUNE SURFACE À MULTIPLES NIVEAUX SUR UN SUBSTRAT AVEC DES ZONES DE DIFFÉRENTES MOUILLABILITÉS ET DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS AYANT CELUI-CI
Application Number
EP20090752494 20091113
Publication Number
2356514 (A1)
Application Date
November 13, 2009
Publication Date
August 17, 2011
Inventor
MEINDERS ERWIN RINALDO
NL
PETER MARIA
NL
Assignee
TNO
NL
IPC
B29C 59/02
G03F 07/00
View Original Source Download PDF