本发明提供了一种带有绝缘埋层的图像传感器,所述图像传感器形成于支撑衬底表面,所述图像传感器包括驱动电路区域和光学传感区域,驱动电路区域的支撑衬底表面具有顶层半导体层,顶层半导体层通过绝缘埋层与支撑衬底隔离;驱动电路区域中的晶体管形成于顶层半导体层中,光学传感区域中的光学传感器件形成于支撑衬底中并通过绝缘隔离层与支撑衬底电学隔离;所述驱动电路区域和光学传感区域彼此通过绝缘侧墙横向隔离。

Title
带有绝缘埋层的图像传感器及其制作方法
Application Number
201110229907.1
Publication Number
102332460
Application Date
August 11, 2011
Publication Date
January 25, 2012
Inventor
田犁
尚岩峰
汪宁
陈杰
汪辉
陈志卿
Agent
上海翼胜
Agent
翟羽
孙佳胤
Assignee
上海中科高等研究院
IPC
H01L 21/762
H01L 27/146